Хладон 116 (Гексафторэтан)

Популярный

Есть в наличии

Код товара: Хладон 116 (Гексафторэтан)

Купить

Способы оплаты

Доставка

Монтаж, наладка

Хладон 116 (гексафторэтан) представляет собой газ, не имеющий запаха и цвета. Вещество является негорючим, что обеспечивает безопасность обращения. Также оно характеризуется слабой растворимостью в спирте и воде. Данное вещество разработано для использования при производстве полупроводников и является универсальным травителем. Оно предназначено для селективного травления оксидов, силицидов металлов, травления диоксида кремния поверх кремния. Полезным хладон окажется и при производстве первичного алюминия.

Широкая сфера применения травящего агента обусловлена его универсальностью. В соединении с кислородом стравливает фоторезист.

Особенности

Хладон 116 (гексафторэтан) характеризуется такими свойствами:

кислотность по HF менее 0,1 ppm;
температура кипения -78,2 °C;
температура плавления -100,6 °C;
критическая температура 19,7 °C;
критическое давление 2,98 МПа;
вступает в реакцию с кварцем при 600-700 °С с образованием тетрафторида кремния, углекислого газа;
медленно реагирует со фтором при 300 °С с образованием тетрафторметана;
стандартная энтальпия образования ΔH (298 К, кДж/моль): 1344,2 (г);
стандартная энтропия вещества S (298 К, Дж/(моль·K)): 332,3 (г);
стандартная мольная теплоемкость Cp (298 К, Дж/(моль·K)): 106,7 (г).

Преимущества

К неоспоримым достоинствам хладона 116 (гексафторэтан) относится высокая эффективность, экономичность использования. Выбор в пользу данного вещества предоставляет возможность оптимизировать производственные процессы, повысить качества полупроводниковой продукции. Универсальность травителя позволяет выпускать большой ассортимент продукции, не приобретая дополнительных компонентов. Вещество является безопасным, поставляется в удобных для использования баллонах. Простота в обращении является еще одним преимуществом.

Эксплуатационные характеристики хладона

Класс опасности груза (по ДОПОГ 2015) 2.2

Критич. давление, МПа 2,98 МП

Критич. темп. 19,7° C

Технические характеристики

Давление пара (при 19,7°С) 29,8 бар

Молекулярная масса Молекулярная масса 138,01182 г/моль

Температура кипения, °С -78,2° C

Температура плавления, °С -100,6° C